十萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)十萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)一:細(xì)顆粒物較大容許數(shù)≥0.5μm的粒子數(shù)不超過350萬只,≥5μm的粒子數(shù)不超過2萬只。十萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)二:微生物菌1種較大容許數(shù),落菌數(shù)不超過500個/m;地基沉降菌數(shù)不超過10個/培養(yǎng)液。十萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)三:壓差。同樣清潔級別的潔凈室壓差保持一致,針對不一樣清潔級別的鄰近潔凈室中間壓差要≥5Pa,潔凈室和非潔凈室中間要≥10Pa(關(guān)鍵是以便確保氣體從清潔區(qū)流入非清潔區(qū),防止氣旋倒流)。
無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一,無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
無塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響,即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動、擴(kuò)散受到氣流的支配。無塵車間所利用過濾器過濾空氣,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,這些塵埃一旦擴(kuò)散便無法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。為了防止再次進(jìn)入和往返作業(yè)對無塵車間造成交叉污染,人員在作業(yè)中途和作業(yè)寬畢均應(yīng)按規(guī)定的順序退出無塵車間。